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電鏡防振臺結構原理
2025-03-07

在電子顯微鏡(電鏡)的微觀探索領域,圖像的清晰性和準確性至關重要。而電鏡防振臺作為保障電鏡穩(wěn)定運行的關鍵部件,其特殊的結構原理發(fā)揮著至關重要的作用。電鏡防振臺的主要目標是隔離外界振動對電鏡的干擾,為電鏡創(chuàng)造一個近乎“靜止”的工作環(huán)境。其結構...

  • 2022-11-01

    硅片厚度測量儀是采用紅外干涉技術的一款測量儀器。它能夠精確測量硅片厚度和測量TTV總厚度變化,也能實時測量超薄晶圓厚度(掩膜過程中的晶圓),硅片厚度測試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測量應用。硅片厚度測量儀具有突出優(yōu)勢,諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測量,標準的測量空間分辨率可達50微米,更小的測量點也可以做到。目前,儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標雕刻等工序或器件的測量。該硅...

  • 2022-10-24

    電容式位移傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關系,從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。實際應用當中電容式傳感器可以實現(xiàn)近乎的線性測量。但是,電容傳感器要求探...

  • 2022-10-19

    顯微鏡秒變光刻機!--顯微鏡LED曝光單元電子顯微鏡和光刻機,兩個看上去風馬牛不相及的東西,是如何結合到一起的?我們向您介紹一款無掩膜顯微鏡LED曝光單元UTA-3A-53M,能令顯微鏡秒變光刻機!該設備是一種具有高性價比的曝光裝置,其DLP固定在顯微鏡的三目鏡部分,而照相機則固定在目鏡部分??梢詫S贸绦虍a生的圖案投影并在顯微鏡下曝光在樣品上。<特征>?顯微鏡LED曝光單元UTA系列是用于光刻的無掩模圖案投影曝光設備。?使用金屬顯微鏡和LED光源DLP投影儀,將分辨率為幾μ...

  • 2022-10-19

    FR-Scanner-AIO-Mic-XY200:微米級定位精度自動化薄膜厚度測繪系統(tǒng)介紹FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸200mmx200mm毫米的行程,通過真空固定在載臺上時進行精確測量??梢罍y量厚度和波長范圍應用需求可在在200-1700nm光譜范圍內提供各種光學配置.應用o大學&研究實驗室o半導體(氧化物、氮化物、Si、抗蝕劑等)oMEMS器件(光刻...

  • 2022-10-18

    1.摘要本研究探討了同質外延生長的4H-SiC晶片表面堆垛層錯(SF)的形貌特征和起因。依據(jù)表面缺陷檢測設備KLA-TencorCS920的光致發(fā)光(PL)通道和形貌通道的特點,將SF分為五類。其中I類SF在PL通道圖中顯示為梯形,在形貌圖中不顯示;II類SF在PL通道圖中顯示為三角形,且與I類SF重合,在形貌圖中顯示為胡蘿卜形貌。III-V類SF在PL通道圖中均顯示為三角形,在形貌圖中分別顯示為胡蘿卜、無對應圖像或三角形。研究結果表明,I類SF起源于襯底的基平面位錯(BPD...

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